準分子激光器具有半導體處理的新本領光源在半導體工業(yè)(半導體器件的檢查、檢測、修整、處理及標印)發(fā)展的整個進程中起著關鍵性作用。準分子激光處理乃是半導體工業(yè)進步的1新重要步驟。長期以來,具有確定光譜范圍的非相干源在光刻及檢驗方面起著可貴的作用。相干源是非常有效的。它的優(yōu)點是:峰值強度高,平均功率高,空間性能可控,南京準分子預混氣,譜線純。這些優(yōu)點使其成為工業(yè)應用的顯然替代者。



準分子以激發(fā)態(tài)形式存在,壽命很短,僅有10^(-8)S量級,基態(tài)為10^(-13)S量級,躍遷發(fā)生在低激發(fā)態(tài)和排斥的基態(tài)(或弱束縛)之間,其熒為一連續(xù)帶。由于其熒光譜為一連續(xù)帶,故可以實現(xiàn)波長可調(diào)諧運轉(zhuǎn)。由于激光躍遷的下能級(基態(tài))的離子迅速離解,激光下能級基本為空的,極易實現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),因此量子效率很高,接近100%,且可以高重復頻率運轉(zhuǎn)。



工業(yè)技術的升級轉(zhuǎn)型需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準分子激光的誕生,準分子預混氣哪家好,以其高光子能量所稱著,在對突破材料限制需求越來越迫切的時代,準分子激光氣再次站在了尖端工業(yè)激光解決方案的較前沿。
中文名:準分子激光氣
其他名稱:氟化ya激光氣體(193nm);氟化ke激光氣體(248nm);氯化氙激光氣體(308nm)
化學式:ArF、KrF、XeCl
產(chǎn)品類型:ArF,KrF,XeCl,準分子預混氣供應商,5%F2/He, Kr/Ne,生產(chǎn)準分子預混氣廠家,F(xiàn)2/Kr/Ne,Ar/Ne,F(xiàn)2/Ar/Ne,UN NO.: UN1956
閥門型號:CGA679,DIN 8,DIN 14
包裝:10L、16L、20L、49L、50L



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