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高純氣體(High Purity Gases)氣體是工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氫，氮，氦，ya而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔铮兌葹?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮，氫，ya，氦可作為運(yùn)載氣，保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。

特種氣體使用安全

首先，應(yīng)對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析，通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì)，消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范，對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏，確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng)，機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

其次，采用監(jiān)測(cè)手段，預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測(cè)器，監(jiān)控氣體泄漏。可燃性氣體應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y(cè)器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過流開關(guān)。氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測(cè)，防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測(cè)系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。

隨著近年來國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)，安徽特種氣體，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類，特種氣體批發(fā)，從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。

近年來，特種氣體廠家報(bào)價(jià)，隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展，特種氣體哪家好，特種氣體的品種也與日俱增，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，我國(guó)已有的特種氣體達(dá)260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)（吸附、膜分離）、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展，更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場(chǎng)。電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅1烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙1烷等）。目前，我國(guó)電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國(guó)家相比，尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對(duì)電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

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