特種氣體興起于60年代中期,作為基礎化工材料,主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、醫(yī)1學科學、臨床診斷、醫(yī)1藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,其應用范圍也越來越廣泛。在國民經(jīng)濟高速發(fā)展及下游1行業(yè)的強勁需求下,我國特種氣體行業(yè)在2006年后進入快速發(fā)展階段,特種氣體批發(fā),年均增速達到17%以上。2011年,國內(nèi)特種氣體行業(yè)產(chǎn)值規(guī)模為296.88億元,較上年增長22.15%;銷售收入為297.52億元,較上年增長21.64%。

LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體市場需求
目前,全球每年對高純電子氣體的需求速度遞增,特種氣體哪家好,2009年全球LED用高純度特種氣體市場規(guī)模已達20億美元。美國Air Product、Praxair、德國Linder、法國Air Liquid、日本昭和等幾大氣體公司在全球市場占有壟斷地位,年產(chǎn)能高達數(shù)千噸。
近年來隨著光電子、微電子技術(shù)的發(fā)展,特別是氮化jia技術(shù)的突破,對特種氣體的需求和技術(shù)要求愈來愈高。越來越多的生產(chǎn)廠家和用戶開始關(guān)注原材料的質(zhì)量及其對生產(chǎn)、銷售和企業(yè)經(jīng)濟效益帶來的影響。

電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于:1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì);2) 氣體運輸和儲存過程中機械帶入的金屬雜質(zhì);3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進行排除,才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而,生產(chǎn)特種氣體廠家,目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm,煙臺特種氣體,無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此,建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測方法,對高純氣體的生產(chǎn)、儲存和運輸?shù)染哂兄笇б饬x。

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