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顯而易見，準分子激光氣體成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體，濟寧準分子預混氣，除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外，對人體的危害是有限的，排除惰性稀有氣體的危害主要的做法還是通風，增強室內空氣的對流。

除了稀有氣體之外，準分子激光氣中的F2是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下，準分子激光氣體都是以預混的形式進行供應，這些預混氣的F2濃度都在1%以下，但足以對人體健康構成威脅，尤其是一些工業(yè)和科研應用的準分子激光氣，使用的是5%F2+95%He，準分子預混氣銷售，這類型的氣體對人體的危害更為嚴重。

從50年代初以來，準分子激光氣提供的成為極1佳的激光介質.準分子不存在基高功率、短波長紫外脈沖一直應用于科學態(tài)，一旦產生應成為布居反轉.當躍遷到基醫(yī)學和工業(yè)部門.盡管使用強腐蝕性的鹵素 態(tài)或非束縛態(tài)，過程通常是放能的，準分子氣體，但現(xiàn)在準分子激光器堅固耐用，能夠激光器發(fā)射紫外激光，因而使它在醫(yī)學、光滿足各種工業(yè)應用的需要.到90年代，在光 刻以及其它領域的某些應用中特別有用.刻和材料加工方面，供應準分子預混氣廠家，準分子激光器越來越重，常用的準分子是稀有氣體和鹵化物的要.同時，新的應用不斷增長:用倍頻方法 分子，包括 ArF、ItrF、XeF和 XeCI.活把準分子激光輸出推進到x射線區(qū);加工出 性氣體以百分之幾的低濃度引人激光腔，準分子預混氣生產廠家，與的衍射光學元件用于光子計算機;以及用于 緩沖氣體 He或 Ne混合，腔中總壓通常小干人類jiao膜整1形等.

準分子激光治1療機用于產生193nm波長紫外激光的工作氣體是凡/Ar/He/Ne的預混氣。在這些氣體中，氟氣毒性很強，能引起肺1水腫，致命的呼吸系統(tǒng)損害，刺激眼睛和鼻粘膜，因此，要引起高度重視。氟氣泄漏時有明顯的、彌漫性的臭味。無論何時，當氟氣泄漏時，應立即關掉預混氣氣瓶閥，然后進行適當?shù)臏y量。氟氣泄漏討可用如下方法探測: (l)當千萬分之二的氟氣存在于空氣當中，就會有明顯的、彌漫性的特殊臭味，可以嗅到。 (2)大于百萬分之一的氟氣存在時，撒上氨水就會產生白色羽毛狀的物體。 (3)百萬分之一的氟氣存在，可使蘸有5%的碘化鉀溶液的白色濾紙變?yōu)樽厣７椒ㄊ?用白色濾紙蘸透5%的碘化鉀液體后，放置在機器排氣管接頭處或側蓋縫隙里，待濾紙晾干后看是否變?yōu)樽厣绻優(yōu)樽厣瑒t證明氟氣漏出。

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