成都準(zhǔn)分子預(yù)混氣-準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商-安徽譜純氣體科技：

合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣

準(zhǔn)分子激光技術(shù)（準(zhǔn)分子激光氣體產(chǎn)生激光）在制造業(yè)微加工應(yīng)用不斷擴(kuò)大，包括鉆石等激光打標(biāo)、材料表面改性、高碳鋼淬火、三維加工。準(zhǔn)分子激光技術(shù)在微加工中可以得到小孔，刻線，以及其他三維復(fù)雜的圖案，如果結(jié)合有效反饋( 比如，用激光測(cè)量)來控制光的輸入，成都準(zhǔn)分子預(yù)混氣，加工精度在深度方向可達(dá)亞微米量級(jí)。準(zhǔn)分子激光氣體使用短波長(zhǎng)使得側(cè)向的精度可達(dá)亞微米量級(jí)；然而，實(shí)現(xiàn)亞微米量級(jí)不僅依賴于激光性能。它還要求高重復(fù)率的運(yùn)動(dòng)控制，通常使用帶空氣軸承的平臺(tái)來移動(dòng)基底和鏡片，鏡片移動(dòng)需要考慮到足夠的焦深，同時(shí)，實(shí)際加工時(shí)需要足夠大的視場(chǎng)。準(zhǔn)分子激光氣體尤其適合大面積，集中且重復(fù)性強(qiáng)的圖案。

準(zhǔn)分子激光器出現(xiàn)于七十年代初，由于其單光子能量大，量子效率高，可實(shí)現(xiàn)高功率運(yùn)轉(zhuǎn)且處于紫外波段，因此短短的十幾年中得到了迅速發(fā)展。進(jìn)入八十年代，商品化準(zhǔn)分子器件不斷涌現(xiàn)，在實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)界應(yīng)用前景越來越廣，使得該類器件成為氣體激光器中發(fā)展快的器件之一。 但是與其它氣體激光器相比，準(zhǔn)分子器件的1大不足是光束質(zhì)量差。為此，國(guó)際上，在八十年代后期，開始在商品器件上引入非穩(wěn)腔以改善光束質(zhì)量，如西德 Lambda Physik公司的產(chǎn)品〔幻。國(guó)內(nèi)雖然在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)實(shí)現(xiàn)了KrF輸出〔2〕〔3〕，但實(shí)用型器件至今仍停留在單一的XeCI(3O8nm)譜線，準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠，沒有能很好地解決材料對(duì)FZ的耐腐蝕問題，因此限制了更短波長(zhǎng)實(shí)用器件的出現(xiàn)，如KrF(2 48nm)，ArF(193nm)等。另一方面，大部分器件采用平一平腔結(jié)構(gòu)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣價(jià)格，光束發(fā)散角高達(dá)3~4個(gè)mrad，而刻蝕、遙感等領(lǐng)域則需要發(fā)散角小一個(gè)數(shù)量級(jí)的激光輸出。

準(zhǔn)分子激光器發(fā)展面臨的主要任務(wù)是提高輸出能量(或者，準(zhǔn)分子預(yù)混氣批發(fā)，在激光核聚變的情況是提高峰值功率)和改進(jìn)光束質(zhì)量。新近為了達(dá)到這些目標(biāo)而發(fā)展的一個(gè)方法是使用X光預(yù)電離拉長(zhǎng)放電激勵(lì)脈沖寬度。對(duì)于需要較短脈寬的核聚變，正在設(shè)計(jì)壓縮脈寬的幾種新技術(shù)。對(duì)其他應(yīng)用，則通過在準(zhǔn)分子激光介質(zhì)中放大倍頻和三倍頻染料激光達(dá)到紫外窄帶寬高能輸出。 歷史 自從1975年發(fā)現(xiàn)稀有氣體鹵化物準(zhǔn)分子激光器以來，它已經(jīng)成為在特定紫外波長(zhǎng)上產(chǎn)生高功率輻射的主要激光器。

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