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電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于：1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì)；2) 氣體運(yùn)輸和儲存過程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì)；3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進(jìn)行排除，才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而，特種氣體銷售，目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm，無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此，建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測方法，對高純氣體的生產(chǎn)、儲存和運(yùn)輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，電子特種氣體，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。高純電子特種氣體被形容為半導(dǎo)體工業(yè)的”血液”和”糧食”，是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進(jìn)制造業(yè)的重要原材料，屬于國家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年，相關(guān)產(chǎn)品被國外壟斷，青島特種氣體，市場定價權(quán)掌握在國外廠商手中。

特種氣體興起于60年代中期，作為基礎(chǔ)化工材料，主要運(yùn)用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、醫(yī)學(xué)科學(xué)、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，特種氣體廠，其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。特種氣體門類繁多，通常可區(qū)分為電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等，廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學(xué)研究及診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。

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