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半導體器件性能的好壞，在很大程度上取決于所用電子氣體的質量，電子氣體純度每提高一個數(shù)量級，都會極大地1推動半導體器件質的飛躍，正因如此，發(fā)達國家都在積極發(fā)展具有自主知識產權的電子化學氣體，并且取得了明顯的效果，由于電子氣體質量決定著ic技術的發(fā)展，而半導體器件又廣泛地應用于民用和軍1工領域，且發(fā)展勢頭強勁，它影響到國民經濟和國防的許多方面，因此，有關電子氣體的生產、凈化、包裝、分析等在國際上多屬高度保密的技術。同光電子、微電子工業(yè)一樣，我國電子氣體的研究與生產起步較晚，資金投入量也顯得相對不足。改革開放以來，中國政府已將ic產業(yè)列為國家重點發(fā)展的支柱產業(yè)，因此，電子工業(yè)、光電子產業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產業(yè)的發(fā)展應與集成電路產業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產業(yè)的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求，以實現(xiàn)氣體的市場價值。在這三種分離技術中，精餾技術的操作比較復雜，目前精餾的汁算還處在半經驗狀態(tài)，廣東特種氣體，但分離的氣體產品的純度能滿足市場上各種氣體的純度要求；吸附分離技術還有待于吸附劑的發(fā)展；膜分離技術是較新的分離模式，特種氣體批發(fā)廠家，它的發(fā)展很快，已經對精餾技術和吸附分離技術造成了不同程度的威脅。總之，這三種方法各有優(yōu)缺點，適應不同的場合，滿足不同的要求，特種氣體批發(fā)公司，為特種氣體的分離做出各自的貢獻。

新華社北京３月１３日電（記者張泉、劉詩平）電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的“血液”。中船重工７１８所副所長郭建增告訴記者，特種氣體廠家直銷，７１８所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應商，為我國集成電路產業(yè)發(fā)展提供堅實支撐。

電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產的關鍵材料。然而，電子特種氣體過去長期被國外企業(yè)壟斷，嚴重影響我國半導體產業(yè)的發(fā)展與產業(yè)鏈完善，影響我國集成電路、半導體相關產品的國際競爭力。

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