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特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，特種氣體多少錢，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求，以實(shí)現(xiàn)氣體的市場價值。在這三種分離技術(shù)中，精餾技術(shù)的操作比較復(fù)雜，目前精餾的汁算還處在半經(jīng)驗(yàn)狀態(tài)，但分離的氣體產(chǎn)品的純度能滿足市場上各種氣體的純度要求；吸附分離技術(shù)還有待于吸附劑的發(fā)展；膜分離技術(shù)是較新的分離模式，它的發(fā)展很快，已經(jīng)對精餾技術(shù)和吸附分離技術(shù)造成了不同程度的威脅。總之，這三種方法各有優(yōu)缺點(diǎn)，適應(yīng)不同的場合，滿足不同的要求，為特種氣體的分離做出各自的貢獻(xiàn)。

電子氣體行業(yè)的主要技術(shù)壁壘包括：

　　（1）提純技術(shù)難度大。電子氣體純度往往要求（5N-6N）級別，而金屬離子要求10-9~10-12級。 氣體純化技術(shù)主要有吸附法、精餾法、膜分離法，其中精餾法應(yīng)用為廣泛。精餾法可分為連續(xù)精餾法和間歇精餾法，連續(xù)精餾法操作穩(wěn)定，并且得到的氣體產(chǎn)品純度較高，質(zhì)量好。吸附法分為變壓吸附法和變溫吸附法，與變壓吸附法相比，變溫吸附法能耗較高、吸附量小，再生需要加熱介質(zhì)，吸附劑壽命較短。膜分離法為一種新型的高分離、濃縮提純及凈化技術(shù)。

　　（2）氣體輸送，東莞特種氣體，充裝，和儲運(yùn)。超高純電子氣體的生產(chǎn)和使用需要高質(zhì)量的鋼瓶等儲運(yùn)容器，對氣體輸送管線、閥門和接口要求十分嚴(yán)格，特種氣體銷售，以避免二次污染。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多，對包裝容器的要求也越來越高，

　　（3）分析檢測與質(zhì)量控制。超高純電子氣需要對ppm(10-6)至ppb(10-9)級別的雜質(zhì)進(jìn)行分析，金屬離子更是要求檢測線達(dá)到ppb(10-9)至ppt(10-12)。

電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面，也已進(jìn)入在線分析階段，且分析檢測的靈敏度高，可以實(shí)現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 。然而，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測量，一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級，因此，對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

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