




半導(dǎo)體器件性能的好壞,在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量,電子氣體純度每提高一個數(shù)量級,特種氣體哪家好,都會極大地1推動半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍,正因如此,發(fā)達(dá)國家都在積極發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體,并且取得了明顯的效果,由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術(shù)的發(fā)展,而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍1工領(lǐng)域,且發(fā)展勢頭強(qiáng)勁,它影響到國民經(jīng)濟(jì)和國防的許多方面,因此,特種氣體出售,有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國際上多屬高度保密的技術(shù)。同光電子、微電子工業(yè)一樣,我國電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚,資金投入量也顯得相對不足。改革開放以來,特種氣體生產(chǎn)廠家,中國政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國家重點(diǎn)發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè),因此,電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

氣瓶柜 gas cabinet (GC)
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,濟(jì)寧特種氣體,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。
氣瓶架 gas rack (GR)
特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動、半自動、全自動三類。

有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的血液,有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的糧食,還有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的腦細(xì)胞,這些都說明了電子氣體對于集成電路生產(chǎn)的重要性,無疑是集成電路制造所需要的關(guān)鍵材料。
面對如此的大好形勢,特種氣體公司如雨后春筍般的遍地崛起,根據(jù)氣體圈子統(tǒng)計,高純氨企業(yè)已經(jīng)在生產(chǎn)的和新項(xiàng)目立項(xiàng)確定的就有15家,笑氣的生產(chǎn)企業(yè)和立項(xiàng)已經(jīng)確定的有17家,三氟化氮生產(chǎn)企業(yè)未來也有近10家。這些企業(yè)大體分為三類,第1類是之前就從事特種氣體生產(chǎn)研究的企業(yè),第二類是由工業(yè)氣體企業(yè)轉(zhuǎn)型而來,第三類是非氣體行業(yè)的“慕名而來”,氣體圈子認(rèn)為國產(chǎn)化更多時候PK的應(yīng)該是質(zhì)量而非數(shù)量。

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