




工業(yè)技術(shù)的升級轉(zhuǎn)型需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準分子激光的誕生,以其高光子能量所稱著,在對突破材料限制需求越來越迫切的時代,準分子激光氣再次站在了尖端工業(yè)激光解決方案的較前沿。
中文名:準分子激光氣
其他名稱:氟化ya激光氣體(193nm);氟化ke激光氣體(248nm);氯化氙激光氣體(308nm)
化學式:ArF、KrF、XeCl
產(chǎn)品類型:ArF,準分子預混氣廠家,KrF,準分子預混氣廠,XeCl,5%F2/He, Kr/Ne,F(xiàn)2/Kr/Ne,Ar/Ne,F(xiàn)2/Ar/Ne,UN NO.: UN1956
閥門型號:CGA679,DIN 8,DIN 14
包裝:10L、16L、20L、49L、50L



準分子激光器出現(xiàn)于七十年代初,由于其單光子能量大,西安準分子預混氣,量子效率高,準分子預混氣公司,可實現(xiàn)高功率運轉(zhuǎn)且處于紫外波段,因此短短的十幾年中得到了迅速發(fā)展。進入八十年代,商品化準分子器件不斷涌現(xiàn),在實驗室和工業(yè)界應用前景越來越廣,使得該類器件成為氣體激光器中發(fā)展快的器件之一。 但是與其它氣體激光器相比,準分子器件的1大不足是光束質(zhì)量差。為此,國際上,在八十年代后期,開始在商品器件上引入非穩(wěn)腔以改善光束質(zhì)量,如西德 Lambda Physik公司的產(chǎn)品〔幻。國內(nèi)雖然在實驗室內(nèi)實現(xiàn)了KrF輸出〔2〕〔3〕,但實用型器件至今仍停留在單一的XeCI(3O8nm)譜線,沒有能很好地解決材料對FZ的耐腐蝕問題,因此限制了更短波長實用器件的出現(xiàn),如KrF(2 48nm),ArF(193nm)等。另一方面,大部分器件采用平一平腔結(jié)構(gòu),光束發(fā)散角高達3~4個mrad,而刻蝕、遙感等領(lǐng)域則需要發(fā)散角小一個數(shù)量級的激光輸出。



含氟準分子激光氣體(PDF)
準分子激光氣是多組份混合氣體,其輸出波長是稀有氣體(或鹵素)結(jié)合作用的結(jié)果。準分子是稀有氣體(或鹵化物)的分子的名稱。通過含氟準分子激光氣體能產(chǎn)生四種波長的光波(或譜線)。
準分子激光是一種新型的冷激光,是由壓縮的氟1化氫氣(ARF)受到激發(fā),釋放出高能的光束,波長193nm。這種光束可以分裂數(shù)層角1膜分子鍵,使細胞組織氣化,對于被照射旁邊的組織不產(chǎn)生熱效應。靠著這種準確的消融,使激光切削不會穿透角1膜,更具安全性。



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