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深度提純難度大，而純度是電子氣體質(zhì)量重要的指標。在芯片加工過程中，微小的氣體純凈度差異將導致整個產(chǎn)品性能的降低甚至報廢。電子氣體純度往往要求5N-6N級別，還要將金屬元素凈化到10-9級至10-12級。氣體純度每提高一個層次對純化技術就提出了更高的要求，煙臺特種氣體，技術難度也將顯著上升。以硅1烷為例，特種氣體廠家，將其純度由4N提純到6N中間有漫長的道路。對于混合氣體而言，混合配比的精度也是下游生產(chǎn)廠商關心的指標。氣體純化技術主要有吸附法、精餾法、膜分離法等。

特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。高純電子特種氣體被形容為半導體工業(yè)的”血液”和”糧食”，是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進制造業(yè)的重要原材料，特種氣體批發(fā)價格，屬于國家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年，相關產(chǎn)品被國外壟斷，市場定價權掌握在國外廠商手中。

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特種氣體 (Specialty gases) ：指那些在特定領域中應用的， 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多， 通常可區(qū)分為電子氣體、標準氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等， 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學研究及診斷、食品保鮮等領域。

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