特種氣體廠-烏魯木齊特種氣體-安徽譜純氣體：

合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣

電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面，特種氣體批發(fā)廠家，也已進(jìn)入在線分析階段，且分析檢測的靈敏度高，特種氣體供應(yīng)商，可以實現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 。然而，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測量，一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級，因此，對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體，烏魯木齊特種氣體，它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投人、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)　電子氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯　示器件、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)四大領(lǐng)域，其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)。半導(dǎo)體工業(yè)用氣體的特點是品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。

特種氣體中單元高純氣體的品種及用途

特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。對于單元高純氣體，根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn)，匯總起來共有227種，可分成五個類別: 一、電子氣體，共85種(序號1～85)，特種氣體廠家，占總數(shù)的36.3％; 二、有機(jī)氣體，共61種(序號86～146)，占總數(shù)的27.8％; 三、無機(jī)氣體，共35種(序號147～181)，占總數(shù)的15.5％;

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