




高純氣體輸送及儲(chǔ)運(yùn)也是影響電子氣體質(zhì)量的關(guān)鍵因素。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,要求相應(yīng)器件耐高壓、耐高真空,對(duì)于腐蝕性氣體要求耐腐蝕,以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多,對(duì)包裝容器的要求也越來(lái)越高,生產(chǎn)特種氣體廠家,對(duì)于氣瓶?jī)?nèi)壁處理技術(shù)以及氣密性好無(wú)污染的閥門、減壓器、過(guò)濾器等的研制提出了較高要求。

1、特種氣體 specialily gas
用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
2、特種氣體系統(tǒng) speciality gas system
特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場(chǎng)的特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配全過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱。
3、特種氣體間 speciality gas room
是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備,特種氣體公司,并通過(guò)管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。

在LED產(chǎn)業(yè)鏈中,特種氣體價(jià)格多少,外延技術(shù)、設(shè)備和材料是外延片制造技術(shù)的關(guān)鍵。當(dāng)前MOCVD工藝已成為制造絕大多數(shù)光電子材料的基本技術(shù)。外延技術(shù)需要的超純特種氣體包括高純shen烷、高純磷烷、高純氨氣,shen化jia生產(chǎn)中應(yīng)用硅1烷N型摻雜,而氯化1氫和氯1氣常常用做蝕刻氣,濟(jì)寧特種氣體,ya、氫、氮?jiǎng)t是必須的載氣。同時(shí)外延生長(zhǎng)需要的有機(jī)源主要是三甲1基jia,三甲1基銦,三甲1基鋁,二乙基鋅,二甲1基鋅,二茂鎂等。現(xiàn)有技術(shù)的發(fā)展對(duì)這些產(chǎn)品的品質(zhì)要求也越來(lái)越高。

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