




隨著國產(chǎn)化的推進(jìn),部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,特種氣體價(jià)格,中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,特種氣體廠家,從核心競爭力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來說,我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。毫無疑問,特種氣體批發(fā),如何擺脫技術(shù)含量低,管理水平低和同質(zhì)化低價(jià)競爭等問題將是我們需要討論的重要課題。雄關(guān)漫道真如鐵,高質(zhì)量的產(chǎn)業(yè)化精品才是匠心精神的終1極目標(biāo),快餐式的電子特種氣體行業(yè)難以長久,氣體圈子的朋友們,加油!

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體,烏魯木齊特種氣體,大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體,如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積,擴(kuò)散等過程中使用的各種化學(xué)氣體,如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等,又可稱為電子特種氣體。
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質(zhì)量有很大的影響。

特種氣體(Specialty gases)是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。
特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。特種氣體中包含了大量的有毒、有害的危險(xiǎn)性大的氣體,因此,特種氣體的使用和貯存有別于普通的工業(yè)氣體。特種氣體按性質(zhì)分類:腐蝕性氣體、易燃性氣體、氧化氧氣體、惰性氣體、有毒性氣體。

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