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隨著近年來國防工業(yè)、科學研究、自動化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發(fā)展，特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類，從應用領域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。

近年來，隨著下游應用領域的逐步擴展，特種氣體的品種也與日俱增，據(jù)不完全統(tǒng)計，我國已有的特種氣體達260余種。隨著非低溫氣體分離技術（吸附、膜分離）、混配技術和提純技術的發(fā)展，更多的特種氣體產品將逐步走向市場。電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅1烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙1烷等）。目前，我國電子氣體品種基本齊全，特種氣體銷售，但數(shù)量和質量與發(fā)達國家相比，尚有較大差距。隨著半導體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對電子氣體的品種、數(shù)量、質量及純度提出了更高的要求。

有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的血液，有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的糧食，還有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的腦細胞，這些都說明了電子氣體對于集成電路生產的重要性，無疑是集成電路制造所需要的關鍵材料。

面對如此的大好形勢，特種氣體公司如雨后春筍般的遍地崛起，根據(jù)氣體圈子統(tǒng)計，高純氨企業(yè)已經在生產的和新項目立項確定的就有15家，笑氣的生產企業(yè)和立項已經確定的有17家，三氟化氮生產企業(yè)未來也有近10家。這些企業(yè)大體分為三類，第1類是之前就從事特種氣體生產研究的企業(yè)，第二類是由工業(yè)氣體企業(yè)轉型而來，第三類是非氣體行業(yè)的“慕名而來”，氣體圈子認為國產化更多時候PK的應該是質量而非數(shù)量。

特種氣體是光電子、微電子等領域，呼和浩特特種氣體，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準確性。

特種氣體 (Specialty gases) ：指那些在特定領域中應用的，特種氣體出售， 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多， 通常可區(qū)分為電子氣體、標準氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等， 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學研究及診斷、食品保鮮等領域。

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