




隨著近年來國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體出售,特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。
近年來,隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計,我國已有的特種氣體達(dá)260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)(吸附、膜分離)、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展,更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場。電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅1烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),武漢特種氣體,碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我國電子氣體品種基本齊全,特種氣體批發(fā)價格,但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國家相比,尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,
其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,特種氣體廠,其中常用的有20~30 種。
在集成電路制造應(yīng)用方面具體包括集成電路芯片制程、化學(xué)氣相沉積和氣體應(yīng)用、刻蝕和氣體應(yīng)用、摻雜和氣體應(yīng)用;在太陽能電池應(yīng)用方面具體包括太陽能電池的應(yīng)用、晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用、薄膜太陽能電池生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用;在化合物半導(dǎo)體應(yīng)用方面具體包括化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用、MOCVD/LED生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用;在液晶顯示器應(yīng)用方面具體包括TFT/LCD的應(yīng)用、TFT/LCD生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用;在光纖應(yīng)用方面具體包括光纖應(yīng)用和光纖預(yù)制棒的生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用。

特種氣體興起于60年代中期,作為基礎(chǔ)化工材料,主要運(yùn)用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、醫(yī)學(xué)科學(xué)、臨床診斷、醫(yī)1藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。
自80年代1開始,我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世,其品種數(shù)目已與國外發(fā)達(dá)國家水平相近。氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)之一,它涉及到國民經(jīng)濟(jì)的各個領(lǐng)域、涉及到人民的日常生活,牽動著高科技的發(fā)展。

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