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特種氣體產(chǎn)品供應(yīng)有代表性的公司為美國Air Product、Praxair、德國Linder、法國AirLiquid、日本酸素等，這些公司的產(chǎn)品在國際電子氣體的市場占有主要份額。國內(nèi)特種氣體的研究開發(fā)取得了一定的成績，形成產(chǎn)業(yè)化的還很少，使得絕大多數(shù)產(chǎn)品仍然依賴進(jìn)口。在國家“863”項(xiàng)目的支持下，公司生產(chǎn)的高純氨產(chǎn)品純度99.99999%以上，可以替代進(jìn)口產(chǎn)品，應(yīng)用在氮化jia生產(chǎn)中。

應(yīng)用于LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體

半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。半導(dǎo)體工業(yè)特種氣體應(yīng)用分類，主要包括：

      1、硅族氣體：含硅基的硅3烷類，如硅3烷、二氯二氫硅、乙硅1烷等

      2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。

      3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如氯1氣、三氟化氮、xiu化氫、四氟化碳、六氟乙1烷等。

      4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

      5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬，如六氟化鎢、三甲1基jia。

半導(dǎo)體照明是正處于方興未艾的產(chǎn)業(yè)，特種氣體生產(chǎn)廠家，隨著化合物半導(dǎo)體市場的擴(kuò)展，特種氣體的需求呈現(xiàn)更大的增長，外延生長需要大量的超純源和過程氣體。目前臺灣和日本的化合物半導(dǎo)體市場占有率較高，近年來，特種氣體廠家直銷，中國、韓國的發(fā)展勢頭強(qiáng)勁，無錫特種氣體，北美、歐洲的占有率也有所增長。應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)中的特種氣體因?yàn)榉N類繁多、品質(zhì)要求嚴(yán)格，生產(chǎn)、充裝、運(yùn)送、儲存都有技術(shù)及安全的要求。再加上經(jīng)濟(jì)規(guī)模等因素，需要多方面的積累，才能實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)。因此目前國內(nèi)呈現(xiàn)市場大、供應(yīng)能力小的局面。很多氣體種類的研發(fā)和生產(chǎn)仍處于空白，市場供應(yīng)主要依賴進(jìn)口。

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