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準(zhǔn)分子激光器出現(xiàn)于七十年代初，由于其單光子能量大，量子效率高，準(zhǔn)分子預(yù)混氣報價，可實(shí)現(xiàn)高功率運(yùn)轉(zhuǎn)且處于紫外波段，因此短短的十幾年中得到了迅速發(fā)展。進(jìn)入八十年代，商品化準(zhǔn)分子器件不斷涌現(xiàn)，在實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)界應(yīng)用前景越來越廣，使得該類器件成為氣體激光器中發(fā)展快的器件之一。 但是與其它氣體激光器相比，準(zhǔn)分子器件的1大不足是光束質(zhì)量差。為此，國際上，在八十年代后期，開始在商品器件上引入非穩(wěn)腔以改善光束質(zhì)量，如西德 Lambda Physik公司的產(chǎn)品〔幻。國內(nèi)雖然在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)實(shí)現(xiàn)了KrF輸出〔2〕〔3〕，但實(shí)用型器件至今仍停留在單一的XeCI(3O8nm)譜線，沒有能很好地解決材料對FZ的耐腐蝕問題，因此限制了更短波長實(shí)用器件的出現(xiàn)，如KrF(2 48nm)，ArF(193nm)等。另一方面，大部分器件采用平一平腔結(jié)構(gòu)，光束發(fā)散角高達(dá)3~4個mrad，而刻蝕、遙感等領(lǐng)域則需要發(fā)散角小一個數(shù)量級的激光輸出。

準(zhǔn)分子激光治1療近視眼早是1985年美國醫(yī)生開始在臨床應(yīng)用的，近年來發(fā)展迅速，九十年代初傳入中國。準(zhǔn)分子激光治1療高、中、低度近視的手術(shù)效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于以往的屈光手術(shù)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣銷售，因此，廣為全世界的眼科醫(yī)師所矚目。但仍有很多人對它產(chǎn)生懷疑，怕眼睛被打穿、燒焦。

一般來說，準(zhǔn)分子激光是波長很短的紫外光，它與生物組織發(fā)生的是光化學(xué)效應(yīng)而不是熱效應(yīng)，因此，不會產(chǎn)生熱損傷，更談不上燒焦。另外，還有人顧慮會打穿眼球，這種顧慮是多余的，準(zhǔn)分子激光波長短，準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商，穿透力弱，每個脈沖只能切削0.25um的深度，是在細(xì)胞下水平切削，切削極精1確，因此打穿眼球是不可能的。有人擔(dān)心會傷害眼睛的其他部位，這也是多慮，因?yàn)闇?zhǔn)分子激光器都有紅外線跟蹤系統(tǒng)，寧波準(zhǔn)分子預(yù)混氣，當(dāng)你的眼球偏轉(zhuǎn)超出正常范圍，激光會自動停止擊射，保證安全治1療。

金屬混合靶與準(zhǔn)分子激光氣相沉積技術(shù)

正在ICF實(shí)驗(yàn)中，混合膜、多層膜是基礎(chǔ)、基準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)用靶的一種重要靶型。薄膜的研究也成為ICF靶研究的重要領(lǐng)域，高質(zhì)量的薄膜有利于物理診斷的研究。長期以來，發(fā)展了多種制膜技術(shù)和方法，如蒸發(fā)、離子束濺射、磁控濺射、分子束外延(MBE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)、溶膠-凝膠法等。近年來，隨著高功率脈沖激光技術(shù)的發(fā)展而產(chǎn)生的脈沖激光制膜技術(shù)(PLD)，在制備多元素化合物膜等方面顯示了獨(dú)特的優(yōu)越性。

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