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五月繁華似錦，萬物欣欣向榮。5月18日，中船重工718所新材料一期項目正式投產(chǎn)，二期項目開工建設。筆者從該集團公司了解到，這標志著718所三氟化氮等特種氣體產(chǎn)品產(chǎn)能將取得新的突破。

高純電子特種氣體被形容為半導體工業(yè)的“血液”和“糧食”，是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進制造業(yè)的重要原材料，屬于國家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年，相關產(chǎn)品被國外壟斷，市場定價權(quán)掌握在國外廠商手中。為破1解壟斷危機、搶抓市場機遇，特種氣體公司，718所于2000年組建特種氣體工程部，自籌經(jīng)費立項開展研究，于2009年成功開發(fā)出高純?nèi)Ｔ摦a(chǎn)品被列入國家“重點新產(chǎn)品”及“火炬計劃”，應用于國內(nèi)大部分的半導體、液晶、太陽能行業(yè)，特種氣體供應，并出口美國、日本、法國、德國等國家。

半導體器件性能的好壞，在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量，電子氣體純度每提高一個數(shù)量級，都會極大地1推動半導體器件質(zhì)的飛躍，正因如此，發(fā)達國家都在積極發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子化學氣體，并且取得了明顯的效果，由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術的發(fā)展，而半導體器件又廣泛地應用于民用和軍1工領域，且發(fā)展勢頭強勁，它影響到國民經(jīng)濟和國防的許多方面，因此，有關電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國際上多屬高度保密的技術。同光電子、微電子工業(yè)一樣，西安特種氣體，我國電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚，資金投入量也顯得相對不足。改革開放以來，中國政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國家重點發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè)，因此，電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

高純氣體輸送及儲運也是影響電子氣體質(zhì)量的關鍵因素。超高純氣體的生產(chǎn)和應用要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運容器、相應的氣體輸送管線、閥門和接口，要求相應器件耐高壓、耐高真空，特種氣體多少錢，對于腐蝕性氣體要求耐腐蝕，以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多，對包裝容器的要求也越來越高，對于氣瓶內(nèi)壁處理技術以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

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