




電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于:1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì);2) 氣體運輸和儲存過程中機械帶入的金屬雜質(zhì);3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進行排除,才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而,目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm,無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此,哈爾濱氣體,建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測方法,對高純氣體的生產(chǎn)、儲存和運輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

高純氣體(High Purity Gases)氣體是工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氫,氮,氦,ya而言,氣體公司,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.199%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮,氫,氣體供應(yīng),ya,氦可作為運載氣,保護氣和配制混合氣的底氣。

隨著近年來國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。
近年來,氣體哪家好,隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計,我國已有的特種氣體達260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)(吸附、膜分離)、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展,更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場。電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅1烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我國電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達國家相比,尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

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