




電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來(lái)源于:1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過(guò)程中引入的微量金屬雜質(zhì);2) 氣體運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì);3) 使用過(guò)程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過(guò)分離進(jìn)行排除,才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而,目前一般的過(guò)濾器的孔徑1小為0.2 μm,煙臺(tái)特種氣體,無(wú)法完全消除金屬雜質(zhì)。因此,建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測(cè)方法,對(duì)高純氣體的生產(chǎn)、儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

氣體工業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)之一,覆蓋社會(huì)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域,受益于國(guó)民生活,牽動(dòng)著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,哪里有特種氣體,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,特種氣體在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的重要地位和作用日益凸顯。主要體現(xiàn)在煉油行業(yè)、冶金行業(yè)、電子器件、環(huán)保產(chǎn)業(yè)。在冶金工業(yè)中,氫氣主要用做還原氣,以便將金屬氧化物還原成金屬。
據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),目前我國(guó)特種氣體年銷售額中,電子行業(yè)約占40%,石油化工約占40%;醫(yī)1療環(huán)保約占10%,其它約占10%。以電子氣體為例,電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體。隨著我國(guó)高新技術(shù)、新型能源、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件的迅猛發(fā)展,將帶動(dòng)電子特種氣體的發(fā)展。

電子工業(yè)用氣體統(tǒng)稱電子氣體,指在半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中所用到的高純度氣體,特種氣體批發(fā)廠家,是微納電子制造國(guó)家安全戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵支撐材料,其廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、液晶顯示器、多晶硅和薄膜太陽(yáng)能電池、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件以及光纖通訊器件等電子行業(yè)。
近年來(lái),特種氣體供應(yīng)商,隨著微納電子先進(jìn)制程向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發(fā)展,對(duì)電子氣體的純度和一致性要求越來(lái)越高,除了應(yīng)具有5 N (99.999%)以上純度,還要求電子氣體中的H2O、氣體雜質(zhì)(如O2、CO2、CO、CH4等)和金屬雜質(zhì)(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指標(biāo)達(dá)到ppb (10?9)至ppt (10?12)數(shù)量級(jí),氣體的品質(zhì)要求高度穩(wěn)定且一致。

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