邯鄲氣體-特種氣體-安徽譜純氣體：

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高純氣體輸送及儲(chǔ)運(yùn)也是影響電子氣體質(zhì)量的關(guān)鍵因素。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，要求相應(yīng)器件耐高壓、耐高真空，對(duì)于腐蝕性氣體要求耐腐蝕，以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多，對(duì)包裝容器的要求也越來越高，對(duì)于氣瓶?jī)?nèi)壁處理技術(shù)以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

特種氣體應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)的許多方面 ， 它在石油化工 、環(huán)境保護(hù) 、醫(yī)1藥衛(wèi)生等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大 的作用 。我國特種氣體經(jīng)過 20 多年的發(fā)展 ， 在廣大特氣工作者不懈的努力下 ， 無論在氣體品種上 ， 高純石油化工氣體是配制標(biāo)準(zhǔn)氣體必需的原 還是在數(shù)量上 ，氣體哪家好， 都以前所未有的速度發(fā)展 ， 生產(chǎn)的 料 ， 它的質(zhì)量好壞 、價(jià)格高低 ， 直接決定了標(biāo)準(zhǔn)氣 品種基本上滿足了市場(chǎng)的需求 ， 從事特種氣體研究的人數(shù)也在不斷攀升 ， 形成了不可忽視的行業(yè)力量 ， 我國特種氣體依賴于進(jìn)口的狀況 ， 已成為歷史 。

特種氣體的發(fā)展趨勢(shì)也伴隨光電子、微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展不斷更新、進(jìn)步。主要表現(xiàn)為產(chǎn)品品種的不斷增加，新型半導(dǎo)體材料的出現(xiàn)，代之而來的是新一代支撐材料的需求，特種氣體生產(chǎn)廠家緊緊圍繞下游芯片廠的需求，不斷推出符合半導(dǎo)體工藝的新品種；同時(shí)特種氣體質(zhì)量不斷提高，以LED產(chǎn)業(yè)用量1大的氨氣為例，高純氨產(chǎn)品的純度由初的技術(shù)指標(biāo)要求電子級(jí)（5N）到兆位一級(jí)（5.5N）、兆位二級(jí)（5.7N）發(fā)展到市場(chǎng)廣泛應(yīng)用在氮化jia生產(chǎn)中的藍(lán)氨（6.4N），目前氮化jia技術(shù)需求的高純氨技術(shù)指標(biāo)純度超過99.99999%，業(yè)界已經(jīng)認(rèn)可的白氨已經(jīng)完全商品化；由于產(chǎn)品中雜質(zhì)如水份、碳?xì)浠衔锏暮吭谔胤N氣體純度中都有嚴(yán)格限制，哪里供應(yīng)氣體，但絕大多數(shù)特殊氣體因化學(xué)活性大，所以不容易保持其純度，因此氣體的純度、供氣系統(tǒng)的保證便成為半導(dǎo)體廠要求品質(zhì)和經(jīng)濟(jì)性的關(guān)鍵。為避免化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中頻繁更換過程氣體瓶，保證盡可能少引入雜質(zhì)，氣體的充裝容器規(guī)格趨向大體積，邯鄲氣體，產(chǎn)品包裝的集裝化，在具備條件的工廠還可以直接建設(shè)氣體輸送管道，保證特種氣體的供應(yīng)質(zhì)量穩(wěn)定。

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