




電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于:1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì);2) 氣體運輸和儲存過程中機械帶入的金屬雜質(zhì);3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進行排除,才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而,目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm,無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此,建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測方法,特種氣體銷售,對高純氣體的生產(chǎn)、儲存和運輸?shù)染哂兄笇б饬x。

電子特種氣體種類多,應用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,特種氣體廠家哪家好,在半導體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應環(huán)節(jié)所涉及的市場依然是國內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體七類。

電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過程的特殊材料,之所以稱之為“特殊”,因為它們要求超純超凈,而且大部分有毒腐或者易燃等性質(zhì)。對雜質(zhì)的要求,西安特種氣體,氣體圈子任路先生這樣說道,1個PPB的SPEC要求,相當于對雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個足球場的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個shai子(1cm長寬高的)雜質(zhì)!

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