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顯而易見，哪里有準分子預混氣廠，準分子激光氣體成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體，除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外，對人體的危害是有限的，排除惰性稀有氣體的危害主要的做法還是通風，增強室內空氣的對流。

除了稀有氣體之外，淄博準分子預混氣，準分子激光氣中的F2是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下，準分子激光氣體都是以預混的形式進行供應，這些預混氣的F2濃度都在1%以下，但足以對人體健康構成威脅，準分子預混氣價格多少，尤其是一些工業(yè)和科研應用的準分子激光氣，使用的是5%F2+95%He，這類型的氣體對人體的危害更為嚴重。

高純nai氣在儲存與運輸過程中的注意問題如下：

1、運輸?shù)淖⒁馐马棧簺]有腐蝕性，可以使用通用的材料。對液nai的話可以使用奧氏體不銹鋼。nai一般都可以用玻璃瓶或鋼瓶進行貯裝。在貯運的過程中應該輕裝輕卸，不可以讓容器發(fā)生碰損問題。液nai的產(chǎn)量小，可以使用類似于小型液氮屏型的液氦容器進行貯存和運輸。在使用這一類容器的時候，其內容的支撐一定要補強，以適應液nai較大的密度。

2、儲存的注意事項：庫房要通風，準分子預混氣供應商，且環(huán)境要低溫干燥，輕裝輕卸。

準分子激光器適用于曝光方面的應用，如光掩膜版的制作、檢查和量測。重復率為1KHz時，激光器能穩(wěn)定發(fā)射輸出能量為16mJ的248nm激光（KrF型號）和6mJ的193nm激光（ArF型號）。它包括一個激光頭（激光頭安裝在一個適于潔凈室環(huán)境下使用的不銹鋼盒子里）和一套安裝在工業(yè)PC板單獨的電源系統(tǒng)。激光器由嚴格的標準組件構成，可單側打開進行激光頭維修，因此很容易與大多數(shù)工作站進行組合使用。

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