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特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計

在確定好氣體房和用氣點以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短，拐彎少，特種氣體廠商，布置緊湊合理，給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機臺用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里，對于穿墻或穿過夾道的地方，特種氣體要多少錢，周圍有危險源和經(jīng)常有危險作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴格的監(jiān)控和管理。后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

預制間的選擇

特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標準，預制作業(yè)需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。

特種氣體存放

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥門箱，泉州特種氣體，而后再進入制程機臺的使用點，特種氣體生產(chǎn)廠，于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機，以質(zhì)流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務系統(tǒng)的設(shè)計范疇，而是歸屬制程機臺設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進行供應。

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