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特種氣體系統(tǒng)：

管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門(mén)一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 .

輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中由于搬運(yùn)和震動(dòng)，閥門(mén)、接頭、過(guò)濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝猓胤N氣體廠商，所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)狻?/p>

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，特種氣體供應(yīng)商，硅1烷遇水反應(yīng)，這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)（GEX）、酸性排風(fēng)系統(tǒng)（SEX）、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（AEX）。普通排風(fēng)系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風(fēng)管，酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管，溶劑和氨氣排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。

特種氣體管道的施工方法

　　特種氣體管道的施工對(duì)環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場(chǎng) 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行，上海特種氣體，作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。因此對(duì)于大宗特氣項(xiàng)目，一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。 但我們?cè)趯?shí)際的施工中，大宗特氣項(xiàng)目很少，一般都是簡(jiǎn)單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng)，為了節(jié)約成本和資金，在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場(chǎng)找一塊相對(duì)潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工，除作業(yè)人員和檢察人員外，應(yīng)禁止無(wú)關(guān)人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴(yán)格，也采用彩鋼板搭設(shè)一個(gè)簡(jiǎn)單的預(yù)制件，房間內(nèi)鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺(tái)層流罩，做一個(gè)簡(jiǎn)單的凈化空間，進(jìn)行管道的預(yù)制工作。

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