




特種氣體系統(tǒng):
管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
材料的選擇
特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門(mén)一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 .
輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中由于搬運(yùn)和震動(dòng),閥門(mén)、接頭、過(guò)濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝猓胤N氣體廠商,所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)狻?/p>


特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng),但有的氣體如三氟化氯,特種氣體供應(yīng)商,硅1烷遇水反應(yīng),這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)(GEX)、酸性排風(fēng)系統(tǒng)(SEX)、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(VEX)、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(AEX)。普通排風(fēng)系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風(fēng)管,酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管,溶劑和氨氣排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。


特種氣體管道的施工方法
特種氣體管道的施工對(duì)環(huán)境的要求比較高,管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場(chǎng) 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn),預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行,上海特種氣體,作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。因此對(duì)于大宗特氣項(xiàng)目,一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。 但我們?cè)趯?shí)際的施工中,大宗特氣項(xiàng)目很少,一般都是簡(jiǎn)單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng),為了節(jié)約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場(chǎng)找一塊相對(duì)潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工,除作業(yè)人員和檢察人員外,應(yīng)禁止無(wú)關(guān)人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴(yán)格,也采用彩鋼板搭設(shè)一個(gè)簡(jiǎn)單的預(yù)制件,房間內(nèi)鋪上地板革,在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺(tái)層流罩,做一個(gè)簡(jiǎn)單的凈化空間,進(jìn)行管道的預(yù)制工作。


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