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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，特種氣體生產(chǎn)廠，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，特種氣體批發(fā)哪家好，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。

       

特種氣體的運輸及其安全技術(shù)

運輸?shù)臏?zhǔn)備工作

1．確定車輛 。

(1)按照公路運輸車輛法的檢查標(biāo)準(zhǔn)檢查車輛的配備情況．

(2)把規(guī)定的警戒標(biāo)志掛在容易看見的地方。

2．確定攜帶櫥品

（1）文件

①汽車駕駛許可證及汽車檢驗證；

②高壓氣體輸運監(jiān)視人學(xué)習(xí)結(jié)業(yè)證(必要時)}

③輸運計劃書(或輸運注意事項)， ：

④車輛運行日記及其它業(yè)務(wù)上必要的文件。

⑤劇1毒物品轉(zhuǎn)讓書(運輸劇1毒物品時)。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-真空壓力法，真空壓力法首要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡略、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，煙臺特種氣體，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應(yīng)答機、整星產(chǎn)品等。該辦法檢測靈敏度高，能完成任何工作壓力的漏率檢測，特種氣體報價，反映被檢件的實在走漏狀況。可是這種檢漏體系雜亂，需求依據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計真空密封室，在檢漏過程要求確保充氣管道接口無走漏，或者采取特別的結(jié)構(gòu)設(shè)計將一切充氣管道銜接接口放置在真空密封室外部。

選用真空壓力法檢漏時，需求將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，真空密封室與輔佐抽暇體系和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口經(jīng)過銜接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時，氦氣就會經(jīng)過漏孔進入真空密封室，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

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