




特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
常規(guī)供氣系統(tǒng)
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單,節(jié)省投資。
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器,哪家特種氣體公司專業(yè),彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾撸胤N氣體批發(fā)廠,自動(dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施,泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?/p>

特種氣體管道的施工
施工管理和現(xiàn)場(chǎng)施工的幾個(gè)注意點(diǎn)
現(xiàn)場(chǎng)的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄,東莞特種氣體,包括管工彎管的質(zhì)量,尺寸是否準(zhǔn)確,特種氣體批發(fā)哪家好,管道是否有劃傷,彎頭是不是壓得太扁;拆除包裝的管道,預(yù)制好的管道,管口是不是封好;(管道封口應(yīng)套上管帽,再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長(zhǎng)套在管口折回后用潔凈膠帶纏好;如果沒(méi)有管帽,則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好,然后外面再套一層,也用膠帶封好。)焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求,每個(gè)焊縫都必須仔細(xì)檢查,并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。


特種氣體存放
針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過(guò)管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥門箱,而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn),于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前,會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機(jī),以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制,通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇,而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進(jìn)行供應(yīng)。


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