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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

簡單供氣系統(tǒng)

簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機構(gòu)以及一些單臺的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，哪里有特種氣體，對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

輔助系統(tǒng)的設(shè)計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設(shè)計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺或多臺惰性氣體柜。

特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動閥，主管路在送氣前必須進(jìn)行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統(tǒng)。氮氣系統(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，西安特種氣體，其管徑根據(jù)氣柜的多少來計算決定。

特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣應(yīng)用

高純氯1氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導(dǎo)體行業(yè)，被用作蝕刻氣體和脫水劑，而其中光纖行業(yè)用量較大。光纖1主要參數(shù)是損耗，無論是石英光纖還是浮化玻璃光纖中的損耗，主要是由OH-陰離子、過渡金屬離子和稀土金屬離子引起的。因為光散射、光吸收主要是由OH-產(chǎn)生的，所以必須脫除光纖中的OH-離子。為了降低損耗，處需要光纖制造系統(tǒng)精良和所有原材料純度高外，哪家特種氣體公司專業(yè)，其關(guān)鍵是在制造光纖工藝中通入高純氯1氣，有效除去OH-離子。因此，高純氯1氣是生產(chǎn)光纖不可或缺的原材料。

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