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特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

簡單供氣系統(tǒng)

簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應系統(tǒng)的投資預算低。

惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體的殺菌

影響滅菌的因素　　

溫度：

　　溫度的常規(guī)極限一般在37℃～63℃，1常用的溫度一般為50±5℃。但是當溫度高到足以使藥1物發(fā)揮1大作用時，在升高溫度，則殺菌效果亦不再提高。滅菌溫度的確定同以下條件有關：1）所滅產(chǎn)品的溫度耐受性。2）裝載量及裝載方式，要求裝載量≤80%，不接觸柜壁，各箱體之間有不小于5cm的間隙。3）包裝材料的厚度、大小，堆積密度。

特種氣體管道的施工

施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點

現(xiàn)場的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄，包括管工彎管的質(zhì)量，尺寸是否準確，管道是否有劃傷，彎頭是不是壓得太扁；拆除包裝的管道，工業(yè)特種氣體多少錢，預制好的管道，管口是不是封好；（管道封口應套上管帽，再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好；如果沒有管帽，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。）焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求，每個焊縫都必須仔細檢查，并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。

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