




氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法
選用正壓法檢漏時,需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣,當被檢產(chǎn)品外表有漏孔時,氦氣就會通孔漏孔進入被檢外外表的周圍大氣環(huán)境中,再選用吸槍的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,然后完成被檢產(chǎn)品走漏丈量。依照收集氦氣方式的不同,又能夠?qū)⒄龎悍ǚ譃檎龎何鼧尫ê驼龎豪鄯e法。其間正壓吸槍法選用檢漏儀吸槍對被檢產(chǎn)品外外表進行掃描探查,能夠完成漏孔的準確定位; 正壓累積法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來,選用檢漏儀吸槍丈量必定時刻段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度改變量,特種氣體供應(yīng)出售,完成被檢產(chǎn)品總漏率的準確丈量。

特種氣體管道的施工
特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接,同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序,對施工的質(zhì)量和程序進行嚴格的監(jiān)控和管理。后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。
其現(xiàn)場基本的施工程序為:施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗收


特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工
特氣供氣系統(tǒng)
大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。


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