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特種氣體管道

氣體滲透性：

氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因?yàn)榭諝庵醒鯕夂偷獨(dú)夥謮毫?大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮?dú)獾臐B透 ， 一般對氧氣的滲透測試比較多。

特氣管道試壓

　　1、管道試壓前應(yīng)全1面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等，質(zhì)量應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求及技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。

　　2、管道試壓應(yīng)編制試驗(yàn)方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進(jìn)行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線，如放空管、排液管等可不進(jìn)行試壓。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，硅1烷遇水反應(yīng)，這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)（GEX）、酸性排風(fēng)系統(tǒng)（SEX）、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（AEX）。普通排風(fēng)系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風(fēng)管，酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管，溶劑和氨氣排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

對于低蒸汽壓氣體（WF6，工業(yè)特種氣體出售，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。

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