




特種氣體:高純氯1氣
高純氯1氣制取方法
高純氯的生產(chǎn)方法仍以工業(yè)氯為原料,吸附凈化。工業(yè)液1氯中的雜質(zhì)含量較多,欲制得高純氯必須把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去,除H2O外其余雜質(zhì)的沸點(diǎn)均低于氯,故用物理吸附法除去H2O和CO2;冷凝分離法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不僅劇1毒,且具有強(qiáng)氧化、強(qiáng)腐蝕的異常活潑的化學(xué)性質(zhì),除少數(shù)稀有氣體外,重慶特種氣體,幾乎能與所有元素形成化合物。因此要篩選不受氯腐蝕、不與氯起化學(xué)反應(yīng)的干燥劑、吸附劑,以及這些吸附劑的化學(xué)處理、再生等。


電子特種氣體的介紹
電子特種氣體和半導(dǎo)體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關(guān),與濕電子化學(xué)品一樣是電子元器件的上游原材料之一。其廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝中,與生產(chǎn)設(shè)備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過(guò)程中,全部工藝步驟超過(guò)450道,特種氣體哪里有,其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。

特種氣體系統(tǒng):簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)
由于氣體流量小,不經(jīng)常使用,特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板;配置繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空,特種氣體公司,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,甚至沒(méi)有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。


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