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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng)，特種氣體廠，但有的氣體如三氟化氯，硅1烷遇水反應(yīng)，這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)（GEX）、酸性排風(fēng)系統(tǒng)（SEX）、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（AEX）。普通排風(fēng)系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風(fēng)管，濟(jì)南特種氣體，酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管，特種氣體廠商，溶劑和氨氣排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。

特種氣體的分類

近年來(lái)我國(guó)微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體的使用要求極高，所以我們特將這個(gè)領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽(yáng)能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬。

特種氣體的作用：

1、反應(yīng)及中和介質(zhì)，在精細(xì)化工、生物醫(yī)1療中用于反應(yīng)、保護(hù)等。

2、冷凍和保鮮介質(zhì)，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。

3、治1療殺菌介質(zhì)，氦氣、氧氣、氮?dú)狻⒓す饣旌蠚獾扔糜卺t(yī)1療設(shè)備。

4、綜合手段與介質(zhì)，應(yīng)用于制造業(yè)的成型保護(hù)、核反應(yīng)堆的保護(hù)、電光源照明行業(yè)和吹掃等。

氦質(zhì)譜檢漏法是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力丈量原理，完成被檢件的氦走漏量丈量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí)，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出，走漏出來(lái)的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號(hào)值。

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