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特種氣體的介紹

特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，特種氣體價(jià)格，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

特種氣體的運(yùn)輸

算出運(yùn)輸量

關(guān)于高壓氣體的運(yùn)輸規(guī)則，特種氣體廠家，根據(jù)其運(yùn)輸量而有所不同。其運(yùn)輸量，可用如下方法算出。

(1)運(yùn)輸量的計(jì)算

  運(yùn)輸量的計(jì)算是用一個(gè)容器的氣體充填量乘上車上裝載的容器個(gè)數(shù)。

  容器的充填量，壓縮氣體用米3表示，液化氣體用公斤表示。

壓縮氣體 容器內(nèi)容積(升)×充填壓力(公斤／厘米2 )/1000=米3

  液化氣體 容器的充填質(zhì)量(公斤)。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動(dòng)，廣東特種氣體，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝猓蕴貧夤裥柙O(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)狻Ｒ话氵x擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜。

特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動(dòng)閥，主管路在送氣前必須進(jìn)行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮?dú)夂蜐崈魤嚎s空氣系統(tǒng)。氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來計(jì)算決定。

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