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電子特種氣體的介紹

電子特種氣體和半導體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關(guān)，特種氣體廠商，與濕電子化學品一樣是電子元器件的上游原材料之一。其廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝中，與生產(chǎn)設備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。

特種氣體的分類

近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高，大連特種氣體，所以我們特將這個領域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬。

特種氣體的作用：

1、反應及中和介質(zhì)，在精細化工、生物醫(yī)1療中用于反應、保護等。

2、冷凍和保鮮介質(zhì)，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。

3、治1療殺菌介質(zhì)，氦氣、氧氣、氮氣、激光混合氣等用于醫(yī)1療設備。

4、綜合手段與介質(zhì)，應用于制造業(yè)的成型保護、核反應堆的保護、電光源照明行業(yè)和吹掃等。

氦質(zhì)譜檢漏法是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力丈量原理，特種氣體廠家，完成被檢件的氦走漏量丈量。當被檢件密封面上存在漏孔時，特種氣體價格，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，走漏出來的氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。

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